客戶單位：山東大學(xué)

應(yīng)用需求：與超精密加工機床聯(lián)用，在線檢測納米尺度車刀刀尖的磨損尺寸

功能特點：

1、將定制的原子力掃描頭加載在車床主軸上，車刀在超精密機床上對零件進行切削加工出現(xiàn)磨損后，無需將刀尖取下來直接就可以利用原子力顯微鏡掃描頭進行在線測量磨損量，加工系統(tǒng)再對刀尖磨損實時補償，再次加工無需重新對刀。不僅提高了效率，而且還避免了重新對刀帶來的加工誤差。

2、定制了用于刀尖測量的顯微對準(zhǔn)裝置，同時采用俯視觀察和側(cè)視觀察的顯微鏡工作，為了克服刀尖怪異形狀的反光特性，利用了刀尖的外形，采用同軸光和輪廓光同時照明的方式進行成像。以便在進行刀尖直徑掃描測量時，能夠快速準(zhǔn)確的找到刀尖位置使原子力顯微鏡針尖對準(zhǔn)掃描，克服常規(guī)方法無法準(zhǔn)確對準(zhǔn)刀尖等問題。

核心參數(shù)：

1、掃描方式：驅(qū)動針尖XYZ掃描

2、掃描范圍：XY方向60um*60um，Z方向8 um

3、掃描分辨率：XY向0.5nm，Z向0.1nm

4、系統(tǒng)噪音水平：RMS≤100 pm

5、自動趨近行程：5mm

6、刀尖對準(zhǔn)光學(xué)放大倍數(shù)：俯視10X，側(cè)視0.6X~5X

7、照明方式：同軸照明和輪廓光照明

部分測試圖片：

車刀刀尖1

車刀刀尖2