客戶單位：石家莊鐵道大學、華北電力大學、太原理工大學

應用需求：鈣鈦礦材料性能研究

功能特點：

1、形貌測量：接觸模式、輕敲模式、高度信號/error信號/振幅信號/相位信號

2、力學測量：F-Z力曲線、RMS-Z曲線、摩擦力/側向力測量、楊氏模量/硬度/粘附力測量及mapping成像功能

3、電學測量：MFM/EFM（磁力和靜電力模式）、C-AFM（導電AFM模式）、KPFM（開爾文探針力模式）、PFM（壓電力模式/面內極化數據/面外極化數據/蝴蝶曲線）

4、環境控制：液體測量模式、冷熱一體溫控模式（-20~200oC）、密閉氣氛控制模式（惰性氣體）、光激發測量模式（正向和側向打光）

核心參數：

1、掃描方式：驅動針尖XYZ掃描

2、掃描范圍：XY閉環100um*100um，Z閉環10 um

3、掃描分辨率：閉環XY向0.2nm，閉環Z向0.04nm

4、系統噪音水平：RMS≤30 pm

5、導電模式電流分辨率：量程±20uA，最小分辨率100fA

6、開爾文電壓分辨率：10mV

7、圖像采樣點：最高4096*4096

8、樣品尺寸：Φ≤40mm，H≤15mm

9、樣品臺行程：25*25mm

部分測試圖片：