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樣品檢測實例——一維光柵
欄目：企業新聞
發布時間：2022-12-13
樣品名稱：一維光柵
測試要求： 光柵形貌及高度測試
1. 樣品位置中左，掃描范圍 3*3um
光柵深度=540.4nm
2、樣品位置左下，掃描范圍 3*3um
光柵深度=572.6nm
3. 樣品位置左上，掃描范圍 3*3um
光柵深度=528.8nm
4. 樣品名稱 XRS-6600，掃描范圍 2.5*2.5um
光柵深度=256.3nm，光柵周期=474nm