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樣品檢測實例——微結(jié)構(gòu)陣列晶圓片
欄目：企業(yè)新聞
發(fā)布時間：2022-12-14
樣品名稱：四英寸微結(jié)構(gòu)陣列晶圓片
測試要求：表面三維形貌及尺寸測量
1. 樣品一，掃描范圍 40*40um
此處微結(jié)構(gòu)陣列高度差約為 1.236nm
2、 樣品一，掃描范圍 20*20um
此處微結(jié)構(gòu)陣列高度差約為 1.229nm