◆ 國內首家實現探針和樣品組合式移動掃描的商業化原子力顯微鏡；

◆ 國內首家采用三軸獨立閉環壓電平移式掃描臺，實現大范圍高精度掃描；

◆ 三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；

◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測；

◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域；

◆ 閉環壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%。

技術參數



應用案例