◆ 國內首家實現樣品保持不動，探針移動掃描的商業化原子力顯微鏡；

◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合超大的樣品檢測；

◆ 樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測；

◆ 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測；

◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
◆ 高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域；

◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%。

技術參數

 

應用案例