客戶單位：中科院寧波材料所

應用需求：特殊環境下控制探針懸臂生長特定材料，研究該材料顆粒對探針振動性能的影響

功能特點：

1、可同時在普通空氣環境、液體環境、溫度控制環境、氣體控制環境下工作

2、集成了金相顯微鏡功能，可在5X~50X光學物鏡放大基礎上，在液體下觀察探針懸臂表面特定材料顆粒生長情況

3、定制了專用的多通道進液和出液口，可同時控制多個特定腐蝕性液體進出及濃度的控制，液體池下還設計有加熱臺可實時給液體加熱

4、定制了密閉氣氛控制腔體和進出氣口，以及測量CO2濃度的探測頭通道

核心參數：

1、探針共振頻率測量范圍：3kHz~2MHz

2、探針力常數范圍：0.06N/m~600N/m

3、Z軸升降行程：10mm

4、液體池尺寸：直徑30mm，深度10mm

5、溫度控制范圍：室溫~250°，升溫速度可調

6、密閉腔體氣壓適合范圍：0.5~2個標準大氣壓

7、光學物鏡：5X/NA0.15，10X/NA0.30，20X/NA0.35，50X/NA0.50

8、光學目鏡：10 倍 22mm 視野平場目鏡一組

9、照明方式：標準科勒同軸照明

10、攝像頭：500萬像素CMOS傳感器