客戶單位：中國航空304所

應用需求：原子力顯微鏡測頭與光學干涉儀系統及多軸壓電控制納米位移臺聯用，開發高精度的計量型納米測量工具

功能特點：

1、納米針尖接觸式測量，XY軸采用壓電平板驅動樣品掃描，Z軸采用壓電陶瓷驅動針尖掃描

2、三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，不會相互串擾

核心參數：

1、Z軸測量掃描范圍：≥10 um

2、Z軸噪音水平：RMS≤30 pm

3、反饋采樣速率：64KHz

4、探針諧振頻率范圍：3kHz~2MHz

5、探針力常數范圍：0.06N/m~600N/m

6、輔助光學放大倍數：5X

7、照明方式：同軸照明

部分測試圖片：