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原子力顯微鏡助力改良材料器件工藝拋光環節

欄目:行業新聞 發布時間:2019-11-06

應用原子力顯微鏡可以監測分子束外延后CdTe/Si復合襯底的表面情況。Si基襯底分子束外延后的CdTe薄膜表面不是很致密而是存在一些微觀凹坑,峰谷值P-V為7.67nm,寬度為1.9um。利用原子力顯微鏡對薄膜表面的微觀缺陷的觀測和表征,精度可以達到納米量級。這種精度是SEM(掃描電鏡)的一些其他表面形貌測試設備所不能比擬的。

應用原子力顯微鏡可以監測碲鎘汞襯底經過機械拋光和化學拋光后材料表面的粗糙程度。碲鎘汞襯底上外延的MCT,除了受外延條件的影響,也受到襯底表面的影響,襯底表面的缺陷也有會表現在外延片上。所以,相對于平整襯底上的外延,會減小外延片的粗糙度。在工藝投片前,外延片選擇1um金剛石機械拋光和化學拋光(CP)。

在經過1um金剛石機械拋光之后,MCT表明粗糙度Ra為6.7nm,峰谷值P-V為73nm,經化學拋光,此兩值減小為1.9nm和11nm。此時的MCT表面較為平行度和粗糙度都非常好。原子力顯微鏡可以很直觀和準確的對拋光后的表面粗糙度進行評價,對拋光工藝的改良起到一定指導作用。

應用原子力顯微鏡可以很準確的對鎘汞襯器件工藝中的接觸孔進行表征。原子力顯微鏡分析接觸孔,具有簡便、直觀、準確的優點。通過原子力顯微鏡在材料工藝中的應用,可以直觀的得到樣品的表面形貌,利于改良材料工藝中的拋光環節。精度高,抗干擾能力強,掃描結果直觀、準確,原子力顯微鏡在材料器件工藝測試中發揮了巨大作用。

蘇州飛時曼精密儀器有限公司成立于2013年,坐落在美麗的蘇州高新區科技城,是一家起點高、前瞻性強的研發和制造型高科技企業。公司的核心研究方向為光、機、電、算一體化的微納米檢測設備、先進的醫療儀器。飛時曼作為國內自主品牌、原子力顯微鏡廠家,其主要產品有:原子力顯微鏡系列多模式原子力顯微鏡 FM-Nanoview1000AFM一體式原子力顯微鏡 FM-Nanoview6800AFM拉曼原子力顯微鏡一體機 FM-NanoviewRa-AFM光學原子力顯微鏡一體機 FM-NanoviewOp-AFM教學型原子力顯微鏡 FM-Nanoview T-AFM教學型掃描隧道顯微鏡 FM-NanoviewT-STM工業型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM拉曼光譜儀RM5000拉曼光譜儀RM8000拉曼光譜儀RM9000)。2015年,公司獲得江蘇省高新技術企業認證,擁有自主知識產權30多項,研發的多款產品被評為高新技術產品,并通過CE、ISO9001、SGS認證。

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