Q:測(cè)試2/3/4inch外延片三維表征形貌以及粗糙度的原子力顯微鏡？

A:原子力顯微鏡（探頭掃描式）FM-NanoviewLS-AFM。

Q:一整套包括什么？

A:AFM主機(jī)，控制器、防震箱、隔振臺(tái)、輕敲、接觸兩種模式的探針；免費(fèi)交機(jī)培訓(xùn)。有相應(yīng)的電腦和控制軟件控制掃描和繪圖。

Q:交貨期多久？

A:根據(jù)不同產(chǎn)品而定，有標(biāo)準(zhǔn)型，和定制化。定制化產(chǎn)品3個(gè)月。

Q:有多功能配置嗎？

A:可以增加晶圓應(yīng)力、翹曲度測(cè)試模塊；白光干涉檢測(cè)模塊；根據(jù)需求來(lái)定制多功能綜合性的儀器。

Q:關(guān)于x,y方向的分辨率，由于我們可能需要精確表征外延片的形貌，因此希望分辨率能夠達(dá)到原子量級(jí)，但是沒(méi)有在任何測(cè)試報(bào)告中看到相應(yīng)的數(shù)據(jù)支撐?

A:好的，關(guān)于分辨率我這邊解釋一下.分辨率主要取決于控制器的采樣點(diǎn)以及系統(tǒng)噪音水平，一般各個(gè)廠家都是以橫向和縱向的系統(tǒng)噪音水平來(lái)代表分辨率水平。縱向分辨率能夠達(dá)到0.05nm;至于XY方向，難度就比較大了，不僅取決于系統(tǒng)噪音和采樣點(diǎn);還跟探針針尖的尖銳程度有很大關(guān)系;一般來(lái)說(shuō)，AFM的探針針尖半徑是在10nm左右，經(jīng)過(guò)特殊修飾的針尖半徑能夠達(dá)到1nm左右;因此實(shí)際上的橫向分辨率大致上也就是0.2nm這個(gè)水平;目前來(lái)說(shuō)，能夠真正穩(wěn)定的做到掃原子圖像都是STM，而且大都在真空環(huán)境下。總的來(lái)說(shuō)，對(duì)我們儀器縱向分辨率0.05nm是完全沒(méi)有問(wèn)題的，減震好的情況RMS值能達(dá)到0.02nm。0.2nm高度的原子臺(tái)階很容易測(cè)出來(lái)。橫向分辨率0.2nm主要是理論值，根據(jù)采樣點(diǎn)和RMS噪音算出來(lái)的，實(shí)際分辨率還取決于探針針尖半徑，一般測(cè)幾個(gè)nm的量子點(diǎn)沒(méi)有問(wèn)題。另外，探針針尖半徑的大小對(duì)于XY橫向分辨率影響非常大，同樣的一個(gè)10nm級(jí)別的量子點(diǎn)樣品，用針尖半徑5nm，10nm，20nm的來(lái)測(cè)試效果是完全不一樣的，針尖越細(xì)，量子點(diǎn)測(cè)的越小越清晰。針尖越粗，量子點(diǎn)測(cè)的就越大越模糊，甚至分辨不出來(lái)。

Q:探針一般提供或者推薦哪幾種選擇？

A:我們常規(guī)的標(biāo)配探針是10nm半徑的;也有7nm和20nm的選擇;探針的廠家也有很多種，都可以選;我們的原子力顯微鏡各個(gè)廠家的探針都能用。

Q:6800型和光學(xué)一體機(jī)的區(qū)別在哪里？還有一個(gè)小疑惑，這個(gè)光學(xué)顯微鏡一體式的，就是多一個(gè)金相顯微鏡嗎?

A:6800和1000型屬于基礎(chǔ)型原子力顯微鏡，只有原子力基礎(chǔ)功能。其他品牌的原子力顯微鏡光學(xué)部分是定位用的，我們的光學(xué)原子力一體機(jī)光學(xué)部分是一臺(tái)金相顯微鏡，可以進(jìn)行金相組織分析。物鏡配置5X、10X、20X、50X，可以自由切換使用的,一般的原子力顯微鏡沒(méi)有這個(gè)功能的,我們的50X物鏡大致可以分辨到600nm，然后可以無(wú)縫對(duì)接到AFM，真正實(shí)現(xiàn)從微米到納米的跨尺度測(cè)量，復(fù)消色差成像的，具體超高清的顯微圖像。光學(xué)原子力是我們最有特色的產(chǎn)品，任何廠家的原子力都沒(méi)有這個(gè)功能的，包括布魯克，功率小于200瓦。

Q:飛時(shí)曼的afm噪音能到多少？

A:≤35pm。

Q:想測(cè)一種類似冰層的物質(zhì),溫度-15到15,耐壓,樣品大小表面4平方

厘米。

A:目前的描述就是測(cè)表面形貌粗糙度，然后就是環(huán)境控制型，冷熱一體臺(tái)，需要力學(xué)測(cè)試。首先看樣品是小尺寸AFM,其次要給樣品制冷，必須得用我們頭掃描的模式。也就是需要一款小型的頭掃描的原子力顯微鏡。制冷臺(tái)我們也可以提供，然后還需要環(huán)境控制，環(huán)境控制我們也可以提供，如果你們自己有手套箱，那就可以放在自己手套箱里面工作也可以，如果沒(méi)有手套箱，我們提供環(huán)境控制的裝置。您是需要一款小型的頭掃描的帶環(huán)境控制的原子力顯微鏡。